激光干涉仪在数控“线切割”机床检测上的应用

　　原因可能是多方面的，既有环境影响因素，如温度变化梯度较大，也有人的操作方式不当等影响因素，甚至还可能有仪器本身的温度传感器不 够稳定或帖附位置不恰当等因素影响。所以在激光干涉仪使用中，有必要先用步距规进行校对。校对方法很简单：把步距规当做被检测对象，用激光干涉进行检测， 如果测量结果与步距规实际值一致，说明激光干涉仪在本环境条件和使用方式下可准确使用。如果测量结果与步距规实际值相差较大，需对激光干涉仪进行误差修 正，然后再用修正过的激光干涉仪再次测量步距规，直至测量结果与步距规实际值一致或误差小到可以忽略。误差修正的方法值得探讨，可采用适当修改初始温度设 定值或修改被测对象线膨胀系数设定值等方法，总之，误差修正的目的是使再次校对时，使激光干涉仪的显示值等于或接近等于步距规的实际值。如此，可排除一些 意想不到的影响激光干涉仪正确使用的因素，从而显著提高激光干涉仪在现场环境下测量结果的准确度（即减小测量结果的不确定度）。

　　中国测试技术研究院专门从事量块、步距规和激光干涉仪校准的***黄晓蓉先生曾说过，现场环境下激光干涉仪不宜单独使用，应与经校准过的步距规比对使用，检测结果会比较准确。

　 　在使用校准过的步距规与激光干涉仪进行比对时，需另外配备分辨力为0.001mm、示值重复性0.2μm以下的杠杆千分表（步距规生产厂家可配套供 应）。校对用步距规宜选用安一公司专利生产的防护型步距规，该型步距规可消除使用中因意外碰撞而丧失精度的重大缺陷。为便于外出人员携带，可选用中小规格 （500mm以下）防护型步距规即可。校对用步距规总价约为激光干涉仪的十分之一，俗话说“买得起马，配得起鞍”，花小钱，办大事。
数控机床的有关标准虽未将步距规列为推荐检测量具，但因现在的机床***标准已与国际标准接轨，均为推荐标准，并不属于强制执行的***标准，实际上并不禁止使用其他的检测手段如步距规、量块等传统检测量具，关键是保证测量结果的准确性。

　 　步距规属于国际公认的实物长度标准器，是三坐标测量机国际标准和***标准极力推荐的检测量具，其准确性、实用性和经济性得到国际公认。因此，也有不少企 业专门使用步距规检测数控机床***精度，如上海特略精密数控机床有限公司，专用安一公司生产的高精度步距规检测本公司生产的精密数控机床，其机床***精度 高达&plu***n;3μm，远高于同行的数控机床精度水平，实现了数控机床***、高价、高销量，成为同行业的佼佼者，是成功应用步距规检测***数控机床的典型案例。

　 　过去很长时期内，国内不能生产高精度步距规，一直依赖进口。现在，桂林安一量具有限公司已能生产具有***水平的高精度步距规。曾有三台规格 1000mm的高精度步距规，先后经中国计量科学研究院和德国DKD-K-44301 校准实验室校准，三台步距规实测全程***大误差均不超 过&plu***n;1.0μm，分别为+0.8μm、-0.6μm（中国计量科学研究院校准）和+0.46μm（德国DKD-K-44301校准实验室），与日本产同规 格高精度步距规极限误差&plu***n;2.5μm相比，国产步距规技术指标毫无逊色。

    步距规作为实物长度标准器，可用于检测数控机床、坐标测量机、影像测量仪和测高仪等精密仪器，更适于现场校对激光干涉仪，提高后者的测量准确性。

    数 控机床的验收检测、复检检测和定期维修检测，与坐标测量机的验收检测、复检检测的内容有许多相似之处。法定计量文件JJF 1064-2004《坐标测量 机校准规范》和***标准GB/T 16857.2-2006 《坐标测量机的验收检测和复检检测》和***新版国际标准ISO 10360-2:2009《坐 标测量机的验收检测和复检检测》，都强烈推荐步距规作为实物长度标准器，用于检测坐标测量机。规格500mm步距规经中国计量科学研究院校准，其测量结果 的不确定度U=0.45μm，完全有资格作为激光干涉仪比对用的实物长度标准器，是激光干涉仪的好帮手。

欲了解更多有关数控线切割机床加工技术资讯欢迎致电：0512-65350149——苏州中航长风数控科技有限公司www.szcfsk.com竭诚为你提供***技术支持及试样考察。